美国 Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪
数码速度控制，精度小于0.006%，无需校准，腔体尺寸241mm，旋涂加速度0~12000rpm/s，程序控制可存储20个程序段。
Laurell
WS-650Mz-23NPPB
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产品简介
MYCRO WS650系列旋转涂膜仪的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器，其设置点精度小于0.006%，获美国NIST激光测量标准认证，无需校准。
部件简述
系统概述
1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；
1.2 防腐装置；
1.3* 设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护；
1.4 通信接口，蓝牙连接。
处理腔体
2.1处理腔体内径不小于9.5英寸(241毫米)；
2.2* Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；
2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质。
旋转马达
3.1 转动速度至少满足0-12000rpm；
3.2 旋涂加速度不小于12000rpm/sec；
3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%。
控制系统
4.1 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s；
4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；
4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；
4.4* 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于土0.5RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准；
配套泵浦
5.1 配套真空泵系统:无油型220~240伏交流，50/60赫兹；
5.2 真空吸附范围25-28英寸汞柱(~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM(0.11 立方米/分钟) 。
系统附件
6.1* 免费赠送基于Windows的操作软件；
6.2 原装进口水平测试仪；
6.3 两袋密封圈；
6.4* 配有两套可更换的废液接收单元。
商品展示图
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Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪规格参数Specs
型号 | WS-650Mz-23NPPB |
腔体尺寸 | 9.5英寸 (241 毫米) |
Wafer芯片尺寸 | 10-150mm直径的材料，方片125x125mm |
转动速度 | 0-12,000rpm |
旋涂加速度 | 0-12,000rpm/sec |
马达旋涂转速 | 稳定性能误差 < ±1% |
转速调节精度 | <0.2rpm，重复性< 0.2rpm |
工艺时间设定 | 1-5999.9 sec/step 0.1 精度 |
匀胶机材质 | NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性 |
高精度数码控制器 | PLC控制，设置点精度小于0.006% |
程序控制 | 可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态 |
分辨率 | 小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分 |
认证 | 美国国家标准技术研究院（NIST）认证 |
真空泵系统 | 无油型 220~240伏交流，50/60赫兹 |
真空泵 | 25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)，抽速：4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) |
Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪包装清单Detail
| 名称 | 型号 | 说明书 | 画册 | 操作说明书 | 清单 |
|---|---|---|---|---|---|
| 匀胶旋涂仪 | WS-650Mz-23NPPB |  |
整机X1、小真空泵x1、说明书X1、合格证X1、保修卡X1、真空托盘x2、真空垫圈x1、废液收集盒x2、电源线x1、外径10mm真空管x1、外径6mm氮气管x1、水平测试仪x1、无油真空泵系统x1 【注意】因厂家包装可能更新或升级，详细包装清单以厂家最新标配为准。 |
Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪售后保障Terms
| 名称 | 型号 | 保修天数 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 匀胶旋涂仪 | WS-650Mz-23NPPB | 365天 | 非人为造成产品质量问题，厂家提供1年免费质保服务 |
Laurell WS-650Mz-23NPPB 匀胶旋涂仪评价晒单Comment
